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一种离子镀膜机的靶前活动遮挡板装置,包括由驱动机构驱动的门轴(10)以及连接在所述的门轴上的活动遮挡板(12),其特征是:所述的驱动机构驱动门轴的方式为:驱动机构的从镀室上面伸进镀室的转动轴(2)的端部、固连在一开口朝下的传动套筒(7)的底部上,传动套筒(7)的开口端上对称地开有2个缺口(9);所述的门轴(10)上顶端对称地设有2块门轴拨动翼(8),所述的2块门轴拨动翼(8)与所述的2个缺口(9)间隙配合;所述的门轴底端支承在一滚珠上。本实用新型采用非固连和非轴承定位的模式,从根本上解决了现有技术的活动遮档板转动不畅和卡死现象,故障率极低且保养维护方便,大大提高生产效率和产品质量。
一种离子镀膜机的靶前活动遮挡板装置,包括由驱动机构驱动的门轴(10)以及连接在所述的门轴上的活动遮挡板(12),其特征是:所述的驱动机构驱动门轴的方式为:驱动机构的从镀室上面伸进镀室的转动轴(2)的端部、固连在一开口朝下的传动套筒(7)的底部上,传动套筒(7)的开口端上对称地开有2个缺口(9);所述的门轴(10)上顶端对称地设有2块门轴拨动翼(8),所述的2块门轴拨动翼(8)与所述的2个缺口(9)间隙配合;所述的门轴底端支承在一滚珠上。本实用新型采用非固连和非轴承定位的模式,从根本上解决了现有技术的活动遮档板转动不畅和卡死现象,故障率极低且保养维护方便,大大提高生产效率和产品质量。